UHV-Vakuum-Fittings
Präzisions-CNC-gefräste Ultrahochvakuum-Fittings, Flansche und Kammerkomponenten für Vakuum- und Forschungseinrichtungen. Edelstahl, ±0,005mm.
Typische Teile
Werkstoffe
Edelstahl 304L/316L, Aluminium 6061. Geprüft für UHV-Anwendungen bis 10⁻⁹ mbar.
Qualität
Helium-Lecktest für UHV-Dichtheit. CMM-Maßbericht inklusive. Oberflächengüte Ra 0,8μm.
Verwandte Teile
Verwandte Branchen
Diese Präzisionsbearbeitungsspuren nutzen ähnliche Prozesse, Werkstoffe und Qualitätsstandards.
Frequently Asked Questions
Welche Materialien bearbeiten Sie für UHV-Anwendungen?
Wir bearbeiten 316L/304L Edelstahl, hochreines Aluminium 5083/6061, sauerstofffreies Kupfer (OFHC C10100), Titan Grade 2 und Inconel 625/718 für UHV-Komponenten.
Welche Oberflächengüten sind für UHV-Dichtflächen erforderlich?
UHV-Dichtflächen erfordern Ra 0,2 µm (Spiegelglanz) für Metalldichtungen und Ra 0,8 µm für Elastomer-/Kupferdichtungen.
Bearbeiten Sie ConFlat (CF)-Flansche?
Ja. Wir bearbeiten Standard- und kundenspezifische ConFlat-Flansche nach ISO 3669 / DIN 28403.
Welche Vakuum-Leckraten erreichen Ihre Komponenten?
Unsere Vakuumkomponenten erreichen Leckraten unter 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s (Helium-Lecktest). Typische UHV-Komponenten erreichen 1×10⁻¹² mbar·L/s mit geeigneten Dichtungen.
Sind Ihre UHV-Komponenten elektropoliert oder passiviert?
Wir bieten Elektropolieren für 316L UHV-Komponenten zur Entfernung von Oberflächenverunreinigungen. Passivieren nach ASTM A967 ist Standard für Edelstahl.
Bearbeiten Sie kundenspezifische UHV-Durchführungen und Sichtfenster?
Ja. Wir bearbeiten kundenspezifische UHV-Durchführungsgehäuse, Sichtfensterflansche und elektrische Durchführungen mit extrem engen Toleranzen für Glas-Metall-Dichtungen.
CNC-Bearbeitung von UHV-Vakuumkomponenten — Helium-Lecktest und Oberflächengüte
1. Materialauswahl fur UHV-Einsatz
UHV-Komponenten benotigen Materialien mit niedrigem Dampfdruck und minimaler Ausgasung. 316L-Edelstahl, OFHC-Kupfer und 6061-T6-Aluminium sind Standard, mit strenger Kontrolle von Einschlussen.
2. Oberflachengute unter Ra 0,2 μm
UHV-Oberflachenzielwerte sind Ra ≤0,2 μm zur Minimierung der Oberflache fur Gasadsorption. Elektropolieren ist die bevorzugte Methode und reduziert sowohl Rauheit als auch Oberflachenkontamination.
3. Helium-Lecktest-Protokoll
Alle UHV-Komponenten mussen den Helium-Lecktest mit einer maximalen Leckrate von 5×10⁻¹⁰ mbar·L/s bestehen. TruPart fuhrt je nach Komponentengeometrie sowohl Spray- als auch Schnuffermethoden durch.
4. Vakuum-Ausheizkompatibilitat
Komponenten fur erhohte Temperaturen mussen das Vakuum-Ausheizen bei 150-300°C ohne Verzug uberstehen. Spezifizieren Sie spannungsarmgegluhtes Material und prufen Sie die Maβstabilitat.
5. Anforderungen an Metalldichtflachen
Schneidkanten- und ConFlat-Dichtflachen erfordern spezifische Geometrie und Oberflachengute fur zuverlassige Metall-Metall-Dichtungen. TruPart bearbeitet CF-Flansche nach ISO 3669 mit gelappten Dichtflachen.
Bereit für Ihr Projekt?
Senden Sie uns Ihre Zeichnung. Wir prüfen, optimieren und bieten an — alles innerhalb eines Werktags.
Angebot anfordernSTEP · IGES · PDF · SolidWorks · DWG